全玻璃太陽集熱管烘烤排氣工藝采用抽高真空復合分子泵
集熱管自動連續烘烤排氣線上進行實驗。經過約一年較長時間生產運行試驗后，采用復合分子泵替代油擴散泵進行全玻璃真空太陽集熱管排氣烘烤抽高真空試驗。選用了三種型號分子泵。分子泵經受了190次以上的集熱管管口破裂引起的大氣沖擊，沒有損壞，抽真空性能無明顯變化。采用分子泵烘烤排氣工藝制備的集熱管，按國標在溫度350℃，48h高溫老化試驗后，吸氣劑鏡面消失率約為5%僅為國標規定值的10％。
其質量好壞直接影響熱水器的熱性能。集熱管夾層之間往復真空泵的真空性能是關鍵指標之一，全玻璃真空集熱管是太陽能熱水器的核心部件。影響集熱管的熱損，從而影響熱效率。太陽能熱水器的集熱管使用壽命通常為20年，運行過程中集熱管的溫度約50℃~80℃，集熱管本身放氣，使內外玻璃管之間夾層中的真空度逐步下降。20年使用過程中要求集熱管夾層中氣體的熱傳導熱損遠小于其輻射熱損，如熱傳導熱損小于總熱損的10％。
獲得集熱管堅持長時間運行高真空性能[1]集熱管烘烤排氣裝置是生產集熱管的關鍵設備之一，采用高溫烘烤抽真空的方法。該裝置上集熱管的內外玻璃管和太陽選擇性吸收涂層在高溫下加熱烘烤排氣，通過尾管對其夾層抽真空，獲得集熱管所需的高真空度，使得集熱管在使用過程中放氣量少。另外，集熱管的最后工序為高頻蒸發激活吸氣劑。集熱管圓頭封閉端激活的吸氣劑涂層，吸收集熱管高溫運行過程中放出的微量氣體，主要為水汽，從而集熱管夾層內在20年運行期間保持良好的真空度。
本實驗采用復合分子泵替代排氣線臺車上原油擴散泵抽高真空。與油擴散泵相比，本工作在公司sk水環真空泵集熱管生產部門的自動連續烘烤排氣線上進行。國內集熱管烘烤排氣生產工藝中都采用油擴散泵抽高真空。分子泵本身具有無油、對水分子抽速長時間穩定、節能等優點。另外分子泵運行可靠，長時間，如兩年生產過程中幾乎不用維護。但分子泵受大氣沖擊性能較差，價格較貴。
1實驗
集熱管自動連續排氣線上進行。排氣線裝有42輛裝載烘烤排氣集熱管的臺車，本實驗采用復合分子泵替代油擴散泵抽高真空。每輛臺車裝40支集熱管，排氣線運行傳動速度約為0.80m/min每輛臺車一天生產運行12爐，排氣線運行一天烘烤排氣集熱管2萬支。烘烤排氣工藝為溫度450℃，烘烤時間40min排氣線臺車的示意圖如圖1所示[2]臺車的真空系統由前級旋片泵、復合分子泵和高真空管道系統組成。復合分子泵上方高真空閥的圓柱正面開四個孔，引出四支連接真空管道。每支連接真空管道與一支裝集熱管真空管道連接。四支裝集熱管真空管道兩端用盲法蘭密封，組成兩組平行管道。每組中兩支裝集熱管真空管道頭尾相連固定，相鄰兩端的間隙盡可能小。每支裝集熱管真空管道上通過尾管座可以裝10支待烘烤排氣的集熱管。連接真空管道和裝集熱管真空管道的內徑約70mm內表面拋光。每支連接真空管道上裝有一只隔離閥。高真空閥采用自行設計的閥門，閥的高度及閥桿的行程在不影響流導的情況下盡可能短，高度約為110mm圖2給出了集熱管排氣線上裝有復合分子泵的臺車照片。臺車臺面上裝有兩排集熱管，緊靠臺面以下為高真空管道系統，高真空閥下面為復合分子泵，替代原來裝的油擴散泵。
1.密封尾管 2.裝集熱管高真空管道 3.盲法蘭 4.連接高真空管道 5.高閥 6.隔離閥 7.復合分子泵 8.旋片泵 9.臺車控制系統
圖1排氣線臺車示意圖
圖2集熱管排氣線上裝有復合分子泵的臺車照片
3結論
抽速為600L/1200L/水冷、1200L/風冷分子泵，選用三種復合分子泵。分別裝置在排氣線的三臺臺車上，進行約一年集熱管烘烤排氣試驗。抽速為600L/分子泵采用400Hz工作頻率，其余兩臺抽速為1200L/采用350Hz工作頻率。
臺分子泵生產集熱管9萬支以上，三臺分子泵在約一年生產運行過程中。直聯真空泵經受了190次以上的集熱管管口破裂大氣沖擊，分子泵葉片和盤片沒有任何損壞，抽真空性能基本沒有變化，仍能滿足繼續生產運行要求。
450℃持續40min烘烤排氣過程中，采用三臺分子泵抽真空的臺車。早期壓強較高約為510-2Pa隨著加熱過程逐漸下降到110-3Pa左右，集熱管封離時壓強約為7.010-4Pa抽速為600L/分子泵早期壓強與其余兩臺分子泵相比較高。
加熱350℃持續48h高溫老化實驗后，采用分子泵烘烤排氣工藝制備的集熱管。吸氣劑鏡面消失率約為5%約僅為國標規定的10％，標明采用復合分子泵抽高真空制備的集熱管真空性能優良。
參考文獻
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巴德純,[3]楊乃恒.王曉冬,于治明.分子泵的世紀回顧與展望[J].真空,2001,2:1.
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