B/T 10771-2007 真空技術 復合分子泵
Vacuum technology-Hybrid molecular pumps
復合分子泵(Hybrid molecular pumps)是一種分子泵,其特征在于泵的進氣口側有一級,或者一級以上的渦輪分子泵抽氣單元,泵的排氣口側有一級或者一級以上的牽引分子泵抽氣單元,兩種抽氣單元串聯抽氣,組成一種有別于傳統渦輪分子泵和牽引分子泵的新穎分子泵。
本標準規定了復合分子泵的型式和基本參數,技術要求,測試方法,檢驗規則,標志、包裝、運輸和貯存等。
本標準適用于具有前級泵、變頻電源的復合分子泵(以下簡稱泵)。
起草單位:深圳大學
歸口單位:全國真空技術標準化技術委員會
發布部門:國家發展和改革委員會
發布日期:2007-8-28
實施日期:2008-2-1
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