JB/T 7462—2005 熱陰極電離真空規管

JB/T 7462—2005 熱陰極電離真空規管

Hot cathode vacuum gauge head

本標準代替JB/T 7462-1994《熱陰極電離真空規管技術條件》。

本標準與JB/T 7462-1994相比，主要變化如下:

增加了第3章術語和定義:

增加了裸規的相關內容;

增加并修改了引用標準:

修改了規管的工作環境(見4.1);

增加了裸規的封裝要求(見4.3.2);

修改了檢驗規則的內容(見第6章)

1、范圍

本標準規定了熱陰極電離真空規管的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝與貯存等內容。

本標準適用于中、高真空及超高真空(限于極限壓力不低于10乍a)熱陰極電離真空規管，包括玻璃規管和裸規。(以下簡稱規管)。

2、規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內容)或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

GB/T 191 包裝儲運圖示標志(GB/T 191-2000, eqv IS0780: 1997)

GB/T 2828.1 計數抽樣檢驗程序第1部分:按接收質量限(IQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃(GB/T2828.1- 2003, ISO 2859-1: 1999, IDT)

GB/T 2829 周期檢查汁數抽樣程序及抽樣表(適用于生產過程穩定性的檢查)

GB/T 3163 真空技術術語

GB/T 6071 超高真空法蘭

GB/T 15464 儀器儀表包裝通用技術條件

JB/T 9329 儀器儀表運輸，運輸貯存基本環境條件及試驗方法

3、術語和定義

GB/T 3163確立的以及下列術語和定義適用于本標準。

3.1、X射線極限值 X-ray limit

一種熱陰極電離真空計的X射線極限值為與主要由離子收集極發射的光電子產生的殘余電流所引起的相同讀數的純氮壓力值。

3.2、零散性scattered

規管系數的偏差。

3.3、裸規nude gauge

一種沒有外殼的規頭，其敏感元件直接插人真空系統。

3.4、漏率leak rates

在規定的條件下，一種特定氣體通過漏孔的流量，單位為Pa·L·s-1,

4、技術要求

4.1、工作環境

規管在下述環境條件下應能正常工作:

a)環境溫度:0℃_.40℃:

b)相對濕度:成90% (25℃時)

4.2 外觀

a)玻璃規管外殼應無裂縫或明顯的氣線、氣泡等缺陷;

b)規管內壁與電極應無污染與明顯的氧化現象;

c)規管外殼與管基之間的固定應牢固。

4.3、連接

4.3.1、玻璃規管與真空系統連接部分的玻殼外徑應為:15.5士0.5 mm;25士1 mm.

4.3.2 、裸規封裝結構應符合GB/T 6071的規定。

4.4 漏率

玻璃規管的漏率應小于10-11Pa·m3·S-1。

裸規的漏率應符合GB/T 6071的規定。

4.5、零散性

在壓力為10-2Pa時，中、高真空規管系數的零散不超過120%.超高真空規管系數的零散不超過士30%.

4.6、測f范圍

規管測量范圍的上限由規管非線性S'不超過20%所對應的壓力確定:規管測量范圍下限由規管X射線極限值(Po)的10倍確定。