根據工作原理對真空泵進行分類

②分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。(4)擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。

　　(5)離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

　　二、氣體捕集泵

　　這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。

　　1、吸附泵

　　它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。

　　2、吸氣劑泵

　　它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。

　　3、吸氣劑離子泵

　　它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。

　　(1)蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華(或蒸發)而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。

　　(2)濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。

　　4、低溫泵

　　利用低溫表面捕集氣體的真空泵。

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